Nghiên cứu sự ảnh hưởng của tỷ lệ Ti:Zr lên các đặc tính cấu trúc, đặc tính ưa nước và tính tương thích sinh học của màng mỏng TiZrN

Bài viết nghiên cứu sự ảnh hưởng của tỷ lệ Ti/Zr lên đặc tính cấu trúc, đặc tính ưa nước và tính tương thích tế bào của màng mỏng TiZrN được chế tạo bằng phương pháp phún xạ. Tất cả các màng TiZrN đều được lắng đọng ở nhiệt độ phòng dưới áp suất 5 mtorr sử dụng nguồn phún xạ một chiều.

Từ khóa: Màng mỏng TiZrN, Tỷ lệ nguyên tử Ti/Zr, Đặc tính điện, Đặc tính cơ, Phương pháp phún xạ