Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Cu2O bằng phương pháp lắng đọng hóa học pha hơi

Trong bài báo này là nghiên cứu kết quả trên màng mỏng Cu2O bằng phương pháp CVD từ Cu (Acac) 2. Nghiên cứu XRD và SEM cho thấy tinh thể Cu2O với cấu trúc khối, nhiệt độ ảnh hưởng đến trạng thái bề mặt của màng mỏng.

Từ khóa: Tạp chí Hóa học, Chế tạo màng mỏng Cu2O, Phương pháp lắng đọng hóa học pha hơi, Phương pháp lắng đọng hóa học, Lắng đọng hóa học pha hơi, Màng mỏng Cu2O