Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số kết cấu đến đặc trưng động lực học của dầm micro có hình dạng phức tạp

Bài viết Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số kết cấu đến đặc trưng động lực học của dầm micro có hình dạng phức tạp tiến hành khảo sát xác định các thông số động lực học đặc trưng của hai dầm kích thước micro được ứng dụng phổ biến trong các thiết bị vi cơ điện tử khi thay đổi các thông số kết cấu của dầm.

Từ khóa: Độ cứng tương đương, Dầm chữ V, Hệ thống MEMS, Thông số kết cấu dầm, Thông số động lực học